Plasma 란?
분자 결합 상태에서 에너지를 받아 분자에서 분자에서 분리되는 현상을 ‘해리’라고 하는데, 해리 현상으로 생성된 전자, 양이온 및 라디컬 등을 모두 합하여 플라즈마라고 부릅니다.
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Plasma 개념
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Plasma 범위
Microwave Plasma
마이크로웨이브 플라즈마는 전자기파를 이용하여 가스를 이온화시키는 기술입니다. 전극이 직접 가스에 닿지 않는 무전극 방전 방식이기 때문에, 기존 방식보다 훨씬 깨끗하고 고밀도의 플라즈마를 생성할 수 있는 혁신적인 기술입니다.
고밀도 플라즈마 생성
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전자온도(8~20eV)와 전자밀도(1012~1015)가 매우 높고, 넓은 압력에서도 높은 전자 밀도를 유지하여 공정 속도가 매우 빠릅니다.
무전극(Electrodeless) 방식
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전극 오염이나 마모가 없어 초고순도 공정이 가능하며 유지보수 비용이 절감됩니다.
폭넓은 운전 범위
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진공 상태부터 대기압 상태까지 다양한 환경에서 플라즈마를 발생시킬 수 있습니다.
가스 선택의 자유로움
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Air, H2, CO2, Ar, N2 등 폭넓은 가스 사용이 가능하고, 반응성이 강한 가스(산소, 불소 등)를 사용해도 전극 부식 걱정이 없습니다.
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Microwave Plasma
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Microwave Plasma 개념도
적용분야
Microwave 플라즈마는 다양한 분야에 적용할 수 있는 혁신적인 기술입니다.
수처리
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다양한 화학공정 중 발생하는 처리가 어려운 부산물을 무해화할 수 있는 기술입니다.
신소재 합성
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그래핀 생산, 탄소나노튜브(CNT) 합성, 인공 다이아몬드(DLC) 증착
표면 처리
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금속 및 고분자 재료의 세정, 친수성 개질
가스화 및 가스개질
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폐기물 및 Bio 부산물의 가스화(Gasification), 수소 생산, LNG 등의 고에너지화 가스개질
살균 및 멸균
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라디칼(Radical)을 이용한 미생물 살균 및 멸균, 식품 파우치 살균
액체 비료
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질소 고정 기술을 이용한 질소산화물 비료생산, 그린 암모니아 생산
난분해성 가스 처리
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산업 현장에서 발생하는 난분해성 가스(PFCs, 암모니아 등) 원인 물질을 플라즈마 화학반응으로 분해
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Microwave Plasma 적용처
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Microwave Plasma 염색폐수 처리