Microwave
고온 발열 기술
Microwave 고온 발열 기술의 주요 특징은 다음과 같습니다.
체적 가열 (Volumetric heating)
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열이 표면이 아니라 물질 내부에서 직접 발생
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열전달(전도, 대류)에 의존하지 않아 가열 속도가 매우 빠름
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두꺼운 소재도 균일 가열 가능
선택적 가열 (Selective heating)
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열이 표면이 아니라 물질 내부에서 직접 발생
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열전달(전도, 대류)에 의존하지 않아 가열 속도가 매우 빠름
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두꺼운 소재도 균일 가열 가능
고온으로 급속 도달
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SiC, Carbon, Metal powder 등 결합성이 좋은 물질은 1000℃ 이상도 가열가능
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Micron 단위 이하의 분말의 경우 최대 100℃/min 이상 가열도 가능
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고온에서 강유전성을 보이는 물질들과 결합 시 2000℃ 이상도 가열가능
빠른 응답성과 제어성
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전력 ON/OFF로 즉각 가열 및 냉각
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온도 상승률 제어가 용이하여 공정 제어성 우수
비접촉식/친환경 가열
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히터 및 연소원이 없어 오염 및 산화 최소화
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밀폐 시스템, 진공 분위기, 환원 및 불활성 분위기에서 가열 가능
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가열 시뮬레이션
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가열 그래프
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Susceptor 가열